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间隙密封
系列
流量特性
4/2→5/3 (A/B→EA/EB)
C[dm3/(s·bar)]
b
Cv
VZA200
0.85
0.35
0.22
VZA400
2.2
0.17
0.53
特长
主阀采用间隙密封方式。
鸡西POD外置弹簧式侧面真空端口托架
鸡西管子(特殊环境用管子)
鸡西工艺气体用元件
鸡西洁净室用排气洁净器 AMP
鸡西3通气控阀 VPA
鸡西3通气控阀 VTA
鸡西5通气控阀 VFRA
鸡西3通气控阀 VGA
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